工业设备配件零件的精密加工技术主要包括以下几个方面：

1. 数控加工技术：数控加工技术是一种使用数控机床进行加工的技术。通过预先编程的指令，控制机床自动完成零件的加工操作，实现高精度、高效率加工。数控加工技术广泛应用于铣削、车削、钻孔、镗削等操作。

2. 精密铣削技术：精密铣削技术主要用于加工平面、曲面、齿轮等型面的精密加工。通过选择合适的刀具、切削参数和加工路径，实现零件的高精度加工和表面质量的要求。

3. 高速切削技术：高速切削技术通过采用高速转速和高进给速度，实现加工效率的提高和切削力的减小。这种技术可以有效降低切削时产生的热量，减少刀具磨损，提高加工精度。

4. 精密磨削技术：精密磨削技术主要用于零件的精密修整和表面光洁度的要求。这种技术利用磨粒对工件进行磨削，以实现高精度的尺寸和形状要求，并获得所需的表面质量。

5. 制造工艺优化技术：通过工艺优化技术，可以对加工过程进行优化和改进，提高加工效率和质量。例如，采用合理的加工顺序、刀具路径、切削参数等，最大程度地减少加工时间，降低成本。

6. 精密测量和检验技术：精密加工过程中，测量和检验是确保加工精度和质量的关键环节。利用高精度的测量工具和设备，如三坐标测量仪、投影仪等，对零件进行检测和测量，确保尺寸、形状、位置等要求的准确度和一致性。

以上是一些常用的精密加工技术，可以根据具体的设备配件零件的加工要求和材料特性进行选择和应用。同时，需要结合实际工艺规程和质量标准，确保加工过程稳定可靠，并满足零件的使用和装配要求。